L773:1084 6999 OR L773:9781424496327
Sökning: L773:1084 6999 OR L773:9781424496327 > Rapid manufacturing...
Rapid manufacturing of OSTE polymer RF-MEMS components
-
- Rahiminejad, Sofia, 1987 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Hansson, Jonas, 1983- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik,Proteomik och nanobioteknologi,Science for Life Laboratory, SciLifeLab,Kungliga Tekniska Högskolan (KTH),Royal Institute of Technology (KTH),Mercene Labs AB
-
- Köhler, Elof, 1980 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- ISBN 9781509050789
- IEEE, 2017
- 2017
- Engelska.
- Ingår i: Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). - : IEEE. - 1084-6999. - 9781509050789 ; , s. 901-904
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This paper reports the first RF-MEMS component in OSTE polymer. Three OSTE-based ridge gap resonators were fabricated by direct, high aspect ratio, photostructuring. The OSTE polymer's good adhesion to gold makes it suitable for RF-MEMS applications. The OSTE ridge gap resonators differ in how they were coated with gold. The OSTE-based devices are compared to each other as well as to Si-based, SU8-based, and CNT-based devices of equal design. The OSTE-based process was performed outside the cleanroom, and with a fast fabrication process (∼1 h). The OSTE-based device performance is on par with that of the other alternatives in terms of frequency, attenuation, and Q-factor.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik -- Textil-, gummi- och polymermaterial (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering -- Textile, Rubber and Polymeric Materials (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Aspect ratio
- Gold
- Gold coatings
- Mechanics
- Polymers
- Q factor measurement
- Resonators
- Device performance
- Fabrication process
- High aspect ratio
- Q-factors
- Rapid manufacturing
- RF-MEMS
- Si-based
- MEMS
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Sys... (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Rahiminejad, Sof ...
- Hansson, Jonas, ...
- Köhler, Elof, 19 ...
- van der Wijngaar ...
- Haraldsson, Klas ...
- Haasl, Sjoerd, 1 ...
- visa fler...
- Enoksson, Peter, ...
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Materialteknik
- och Textil gummi och ...
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
- Proceedings of t ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
- Chalmers tekniska högskola
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
