SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

L773:1361 648X OR L773:0953 8984
 

Sökning: L773:1361 648X OR L773:0953 8984 > (1995-1999) > Anisotropy of disso...

LIBRIS Formathandbok  (Information om MARC21)
FältnamnIndikatorerMetadata
00002266naa a2200289 4500
001oai:DiVA.org:liu-49896
003SwePub
008091011s1999 | |||||||||||000 ||eng|
024a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-498962 URI
040 a (SwePub)liu
041 a engb eng
042 9 SwePub
072 7a ref2 swepub-contenttype
072 7a art2 swepub-publicationtype
100a Syväjärvi, Mikaelu Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial4 aut0 (Swepub:liu)miksy08
2451 0a Anisotropy of dissolution and defect revealing on SiC surfaces
264 1c 1999
338 a print2 rdacarrier
520 a Micropipes and dislocations in silicon carbide single crystals are revealed by chemical etching. Micropipes are shown to be interconnected with other structural defects and the reason for this is discussed. The Si and C faces are attacked by molten KOH preferentially and isotropically, respectively. The mechanism is discussed in relation to the different surface free energies on the Si and C faces. The revealing of micropipes is more pronounced on the Si face. The hexagonal pattern of micropipes are revealed by rapid etching provided by a large undersaturation at the surface. It is shown that etching from a melt gives a disintegration of the SiC crystal at the micropipe via spiral dissolution which is due to etching near equilibrium conditions. The temperature dependence of the etch rate follows an Arrhenius dependence with an apparent activation energy of about 12-15 kcal mol(-1) derived from measuring etch rate and weight loss.
653 a TECHNOLOGY
653 a TEKNIKVETENSKAP
700a Yakimova, Rositsau Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial4 aut0 (Swepub:liu)rosia15
700a Hylen, ALu Linkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, S-58183 Linkoping, Sweden Okmet AB, S-17824 Ekero, Sweden4 aut
700a Janzén, Eriku Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial4 aut0 (Swepub:liu)erija14
710a Linköpings universitetb Tekniska högskolan4 org
773t Journal of Physicsg 11:49, s. 10041-10046q 11:49<10041-10046x 0953-8984x 1361-648X
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-49896

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy