WFRF:(Holgersen Ståle)
Sökning: WFRF:(Holgersen Ståle) > Sensitive multi-ele...
- 10 av 68
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Sensitive multi-element profiling with high depth resolution enabled by time-of-flight recoil detection in transmission using pulsed keV ion beams
-
- Holeňák, Radek (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad kärnfysik
-
- Lohmann, Svenja, 1990- (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad kärnfysik,Helmholtz Zent Dresden Rossendorf eV HZDR, Inst Ion Beam Phys & Mat Res, D-01328 Dresden, Germany.
-
- Primetzhofer, Daniel (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad kärnfysik
- (creator_code:org_t)
- Elsevier, 2022
- 2022
- Engelska.
- Ingår i: Vacuum. - : Elsevier. - 0042-207X .- 1879-2715. ; 204
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The potential of time-of-flight recoil detection for sensitive multi-element profiling of thin membranes and quasi -2D systems in transmission geometry using pulsed keV ion beams is assessed. While the time-of-flight approach allows for simultaneous detection of multiple elements, to the largest extent irrespective of recoil charge states, the keV projectile energies guarantee high recoil-cross sections yielding high sensitivity at low dose. We demonstrate the capabilities of the approach using 22Ne and 40Ar as projectiles transmitted through thin carbon foils featuring optional LiF-coatings and single-crystalline silicon membranes for different sample preparation routines and crystal orientations.Using a large position-sensitive detector (0.13 sr), a depth resolution below 6 nm and sensitivity below 1014 atoms/cm2 was achieved for H in a 50 nm thick silicon membrane. For crystalline targets, we show how the probability of creation and detection of recoils and their observed angular distribution depend on sample orientation.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Subatomär fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Subatomic Physics (hsv//eng)
Nyckelord
- Recoils
- keV ions
- Self-supporting films
- Time-of-flight
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
- 10 av 68
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Holeňák, Radek
- Lohmann, Svenja, ...
- Primetzhofer, Da ...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- och Subatomär fysik
- Artiklar i publikationen
- Vacuum
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
