SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Blom AM)
 

Sökning: WFRF:(Blom AM) > Plasma jet dry etch...

  • Barklund, AM (författare)

Plasma jet dry etching of silicon based compounds

  • Artikel/kapitelEngelska1990

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • 1990
  • printrdacarrier

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-258431
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-258431URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype
  • Ämneskategori:kon swepub-publicationtype

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Blom, Hans-Olof (författare)
  • Berg, SörenUppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik (författare)
  • Uppsala universitetFasta tillståndets elektronik (creator_code:org_t)

Internetlänk

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy