Generalized infrared ellipsometry study of thin epitaxial AlN layers with complex strain behavior

Darakchieva, Vanya (författare): Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial

Schubert, M. (författare): Fak. für Phys./Geowiss., Iniversität Leipzig, 04103 Leipzig, Germany

Birch, Jens (författare): Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik

Kasic, A. (författare)

Tungasmita, Sukkaneste (författare): Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Institutionen för fysik, kemi och biologi

Paskova, Tanja (författare): Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Institutionen för fysik, kemi och biologi

Monemar, Bo (författare): Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial

(creator_code:org_t)

Relaterad länk:: https://urn.kb.se/re...; visa fler...; https://doi.org/10.1...; visa färre...

Abstract Ämnesord

Stäng

The effect of film thickness on the strain and structural properties of thin epitaxial AlN films has been investigated, and a sub-layer model of the degree of strain and related defects for all films is suggested. The vibrational properties of the films have been studied by generalized infrared spectroscopic ellipsometry. The proposed sub-layer model has been successfully applied to the analysis of the ellipsometry data trough model calculations of the infrared dielectric function. © 2003 Elsevier B.V. All rights reserved.

Av författaren/redakt...: Darakchieva, Van ...; Schubert, M.; Birch, Jens; Kasic, A.; Tungasmita, Sukk ...; Paskova, Tanja; visa fler...; Monemar, Bo; visa färre...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.