Nanoimprint lithography for fabrication of three-terminal ballistic junctions in InP/GaInAs

↓ Direkt till sidans innehåll
↓ Direkt till sidans sekundära innehåll (sidomenyn)

Sökning: WFRF:(Carlberg Patrick) > Nanoimprint lithogr...

Maximov, IvanLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH (författare)

Nanoimprint lithography for fabrication of three-terminal ballistic junctions in InP/GaInAs

Artikel/kapitelEngelska2002

Förlag, utgivningsår, omfång ...

2002-09-20
IOP Publishing,2002

Nummerbeteckningar

LIBRIS-ID:oai:lup.lub.lu.se:f6fbdbfd-ac3c-47af-b852-cd6cc2764798
https://lup.lub.lu.se/record/324398URI
https://doi.org/10.1088/0957-4484/13/5/325DOI

Kompletterande språkuppgifter

Språk:engelska
Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

SwePubSwePub

Klassifikation

Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Ämneskategori:ref swepub-contenttype

Anmärkningar

We present processing technology and characterization results for InP/GaInAs two-dimensional electron gas (2DEG) three-terminal ballistic junction (TBJ) devices manufactured using nanoimprint lithography (NIL). To transfer sub-100 nm features into a high-mobility InP-based 2DEG material, we used SiO2/Si stamps made using electron beam lithography and reactive ion etching. After NIL, the resist residues are removed in oxygen plasma; this is followed by wet etching of InP/GaInAs to define the TBJ structures. Fabricated TBJ devices are characterized using scanning electron microscopy and electron transport measurements. Highly non-linear electrical characteristics as predicted by the theory (Xu H Q 2001 APPI. Phys. Lett. 78 2064) are demonstrated.

Ämnesord och genrebeteckningar

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Nanoteknik Nanoteknik hsv//swe
ENGINEERING AND TECHNOLOGY Nano-technology Nano-technology hsv//eng

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

Carlberg, PatrickLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ftf-pca (författare)
Wallin, DanielLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ftf-dwa (författare)
Shorubalko, IvanLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ftf-ish (författare)
Seifert, WernerLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ftf-wse (författare)
Xu, HongqiLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ftf-hxu (författare)
Montelius, LarsLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ftf-lmo (författare)
Samuelson, LarsLund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH(Swepub:lu)ftf-lsa (författare)
Fasta tillståndets fysikFysiska institutionen (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

Ingår i:Nanotechnology: IOP Publishing13:5, s. 666-6680957-4484

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Nanotechnology (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...: Maximov, Ivan; Carlberg, Patric ...; Wallin, Daniel; Shorubalko, Ivan; Seifert, Werner; Xu, Hongqi; visa fler...; Montelius, Lars; Samuelson, Lars; visa färre...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Nanoteknik; och Nanoteknik

Artiklar i publikationen: Nanotechnology

Av lärosätet: Lunds universitet

Sök utanför SwePub

Sök vidare i:: Google; Google Book Search; Google Scholar

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

LIBRIS.kb.se