Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-316450" >
Programmable silico...
Programmable silicon photonic circuits powered by MEMS
-
- Bogaerts, Wim (författare)
- Univ Ghent, Dept Informat Technol, Photon Res Grp, IMEC, Technologiepk Zwijnaarde, Ghent, Belgium.;Univ Ghent, Ctr Nano & Biophoton, Ghent, Belgium.
-
- Takabayashi, Alain Yuji (författare)
- Ecole Polytech Fed Lausanne EPFL, CH-1015 Lausanne, Switzerland.
-
- Edinger, Pierre (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa fler...
-
- Jo, Gaehun, 1992- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Zand, Iman (författare)
- Univ Ghent, Dept Informat Technol, Photon Res Grp, IMEC, Technologiepk Zwijnaarde, Ghent, Belgium.;Univ Ghent, Ctr Nano & Biophoton, Ghent, Belgium.
-
- Verheyen, Peter (författare)
- Imec Vzw, 3DSIP Dept, Si Photon Grp, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium.
-
- Jezzini, Moises (författare)
- Tyndall Natl Inst, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Sattari, Hamed (författare)
- Ecole Polytech Fed Lausanne EPFL, CH-1015 Lausanne, Switzerland.
-
- Talli, Giuseppe (författare)
- Tyndall Natl Inst, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Antony, Cleitus (författare)
- Tyndall Natl Inst, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Saei, Mehrdad (författare)
- Tyndall Natl Inst, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Arce, Cristina Lerma (författare)
- Commscope Connect Belgium, Diestsesteenweg 692, B-3010 Kessel, LO, Belgium.
-
- Lee, Jun Su (författare)
- Tyndall Natl Inst, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Mallik, Arun Kumar (författare)
- Tyndall Natl Inst, Lee Maltings Complex Dyke Parade, Cork T12 R5CP, Ireland.
-
- Kumar, Saurav (författare)
- Commscope Connect Belgium, Diestsesteenweg 692, B-3010 Kessel, LO, Belgium.
-
- Garcia, Marco (författare)
- VLC Photon SL, UPV, Ed 9B,D2,Camino Vera Sn, Valencia 46022, Spain.
-
- Jonuzi, Tigers (författare)
- VLC Photon SL, UPV, Ed 9B,D2,Camino Vera Sn, Valencia 46022, Spain.
-
- Gylfason, Kristinn, 1978- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Quack, Niels (författare)
- Ecole Polytech Fed Lausanne EPFL, CH-1015 Lausanne, Switzerland.
-
- Niklaus, Frank, 1971- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Khan, Umar (författare)
- Univ Ghent, Dept Informat Technol, Photon Res Grp, IMEC, Technologiepk Zwijnaarde, Ghent, Belgium.;Univ Ghent, Ctr Nano & Biophoton, Ghent, Belgium.
-
visa färre...
-
Univ Ghent, Dept Informat Technol, Photon Res Grp, IMEC, Technologiepk Zwijnaarde, Ghent, Belgium;Univ Ghent, Ctr Nano & Biophoton, Ghent, Belgium. Ecole Polytech Fed Lausanne EPFL, CH-1015 Lausanne, Switzerland. (creator_code:org_t)
- SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2022
- 2022
- Engelska.
-
Ingår i: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. - : SPIE-Intl Soc Optical Eng.
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We present our work to extend silicon photonics with MEMS actuators to enable low-power, large scale programmable photonic circuits. For this, we start from the existing iSiPP50G silicon photonics platform of IMEC, where we add free-standing movable waveguides using a few post-processing steps. This allows us to implement phase shifters and tunable couplers using electrostatically actuated MEMS, while at the same time maintaining all the original functionality of the silicon photonics platform. The MEMS devices are protected using a wafer-level sealing approach and interfaced with custom multi-channel driver and readout electronics.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)
Nyckelord
- Silicon Photonics
- Programmable Photonics
- Micro-electromechanical Systems
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Bogaerts, Wim
-
Takabayashi, Ala ...
-
Edinger, Pierre
-
Jo, Gaehun, 1992 ...
-
Zand, Iman
-
Verheyen, Peter
-
visa fler...
-
Jezzini, Moises
-
Sattari, Hamed
-
Talli, Giuseppe
-
Antony, Cleitus
-
Saei, Mehrdad
-
Arce, Cristina L ...
-
Lee, Jun Su
-
Mallik, Arun Kum ...
-
Kumar, Saurav
-
Garcia, Marco
-
Jonuzi, Tigers
-
Gylfason, Kristi ...
-
Quack, Niels
-
Niklaus, Frank, ...
-
Khan, Umar
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Atom och molekyl ...
- Artiklar i publikationen
- Proceedings of S ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan