Sökning: WFRF:(Smith Anderson David 1985) >
Investigation of pa...
Investigation of palladium current collectors for vertical graphene-based microsupercapacitors
-
- Vyas, Agin, 1992 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Cornaglia, F. (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Rattanasawatesun, T. (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Li, Qi, 1990 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Haque, Mohammad Mazharul, 1984 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Sun, Jie, 1977 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Kuzmenko, Volodymyr, 1987 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Smith, Anderson David, 1985 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Lundgren, Per, 1968 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- IOP Publishing, 2019
- 2019
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Physics: Conference Series. - : IOP Publishing. - 1742-6588 .- 1742-6596. ; 1319:1
- Relaterad länk:
-
https://research.cha... (primary) (free)
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- As microsystems are reduced in size and become integrated in the Internet of Things (IoT), they require an adequate power supply which can be integrated at the same size scale. Microsupercapacitors (MSCs), if coupled with on-chip harvesters, can offer solutions for a self-sustaining, on-chip power supply. However, the implementation of reliable MSC wafer-scale production compatible with CMOS technology remains a challenge. Palladium (Pd) is known as a CMOS compatible metal and, in this paper, we investigate the use of Pd as a contact material for vertical graphene (VG) electrodes in wafer-scale MSC fabrication. We show that a Ti diffusion barrier is required to prevent short-circuiting for the successful employment of Pd contacts. The fabricated MSCs demonstrate a capacitance of 1.3 μF/cm2 with an energy density of 0.42 μJ/cm2. Thus, utilization of a Ti diffusion barrier with a CMOS compatible Pd metal electrode is a step towards integrating MSCs in semiconductor microsystems.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Vyas, Agin, 1992
-
Cornaglia, F.
-
Rattanasawatesun ...
-
Li, Qi, 1990
-
Haque, Mohammad ...
-
Sun, Jie, 1977
-
visa fler...
-
Kuzmenko, Volody ...
-
Smith, Anderson ...
-
Lundgren, Per, 1 ...
-
Enoksson, Peter, ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Physi ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola