WFRF:(Krieger Michael)
Sökning: WFRF:(Krieger Michael) > On the ion implanta...
- 34 av 63
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
On the ion implantation of phosphorus as a method for the passivation of states at the interface between 4H-SiC and SiO2 produced by thermal oxidation in dry oxygen
-
- Mikhaylov, Aleksey I. (författare)
- St. Petersburg State Electrotechnical University LETI, Russia
-
- Afanasiev, A. V. (författare)
- St. Petersburg State Electrotechnical University LETI, Russia
-
- Ilyin, V. A. (författare)
- St. Petersburg State Electrotechnical University LETI, Russia
- visa fler...
- visa färre...
- St Petersburg State Electrotechnical University LETI, Russia Ascatron AB, Sweden (creator_code:org_t)
- Maik Nauka-Interperiodica Publishing, 2014
- 2014
- Engelska.
- Ingår i: Semiconductors (Woodbury, N.Y.). - : Maik Nauka-Interperiodica Publishing. - 1063-7826 .- 1090-6479. ; 48:12, s. 1581-1585
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- A method is suggested for reducing the density of surface states at the 4H-SiC/SiO2 interface by the implantation of phosphorus ions into a 4H-SiC epitaxial layer immediately before the growth of a gate insulator in an atmosphere of dry oxygen. A significant decrease in the density of surface states is observed at a phosphor-ion concentration at the SiO2/SiC interface exceeding 1018 cm−3. However, together with the passivation of surface states, the introduction of phosphorus ions leads to an increase in the built-in charge in the insulator and also slightly deteriorates the reliability of the gate insulator fabricated by this technique.
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Semiconductors (Woodbury, N.Y.) (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 34 av 63
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Mikhaylov, Aleks ...
- Afanasiev, A. V.
- Ilyin, V. A.
- Luchinin, Victor ...
- Reshanov, Sergey ...
- Krieger, Michael
- visa fler...
- Schöner, Adolf
- Sledziewski, Tom ...
- visa färre...
- Artiklar i publikationen
- Semiconductors ( ...
- Av lärosätet
- RISE
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
