Grain growth behavior, surface morphology evolution, structures, and optical properties of ZnO thin films prepared by RF reactive magnetron sputtering

↓ Direkt till sidans innehåll
↓ Direkt till sidans sekundära innehåll (sidomenyn)

Sökning: WFRF:(Zhi Hui) > Grain growth behavi...

Lu, Hui (författare)

Grain growth behavior, surface morphology evolution, structures, and optical properties of ZnO thin films prepared by RF reactive magnetron sputtering

Artikel/kapitelEngelska2014

Förlag, utgivningsår, omfång ...

NATL INST OPTOELECTRONICS,2014
printrdacarrier

Nummerbeteckningar

LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:su-102495
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:su:diva-102495URI

Kompletterande språkuppgifter

Språk:engelska
Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

SwePubSwePub

Klassifikation

Ämneskategori:ref swepub-contenttype
Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Anmärkningar

AuthorCount:6;
ZnO thin films were prepared by radio frequency (RF) reactive magnetron sputtering at varying deposition conditions. The effects of RF power (from 40 to 90 W) and substrate temperature (from 100 to 200 degrees C) on the grain growth behavior, surface morphology evolution, and the structural and optical properties of the films were investigated. Atomic force microscopy (AFM) measurements confirmed that the grain size and surface roughness depend mainly on the RF power and increase with increasing it at the initial deposition stage of 5 s, and are strongly affected by the substrate temperature and increase with increasing it at the final deposition stage of 45 min. The influence of both the deposition parameters on the surface structure of the ZnO films at different deposition stages and the mechanism concerning this influence were discussed. The X-ray diffraction (XRD) and optical absorption spectra analysis indicated that all the films deposited for 45 min are in the state of the compressive stress and exhibit polycrystalline nature with the (002) preferential orientation, and they have high optical transparency in the visible range and sharp absorption edges around the wavelength 360 nm corresponding to the ZnO exciton. With the increase of the RF power and substrate temperature, the grain size increases, the residual compressive stress relaxes, and the optical band gaps broaden. In comparison with the RF power, the substrate temperature has more evident influence on the microstructure of the ZnO thin films.

Ämnesord och genrebeteckningar

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Materialteknik hsv//swe
ENGINEERING AND TECHNOLOGY Materials Engineering hsv//eng
ZnO Thin films
RE magnetron sputtering
Deposition
Microstructure
Optical properties

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

Zheng, Zhi-Jia (författare)
Lin, Xian (författare)
Xu, Fei (författare)
Bi, Han (författare)
Laaksonen, AattoStockholms universitet,Avdelningen för fysikalisk kemi(Swepub:su)aatto (författare)
Stockholms universitetAvdelningen för fysikalisk kemi (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

Ingår i:Journal of Optoelectronics and Advanced Materials: NATL INST OPTOELECTRONICS16:1-2, s. 170-1751454-41641841-7132

Internetlänk

https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:su:diva-102495

Hitta via bibliotek

Journal of Optoelectronics and Advanced Materials (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...: Lu, Hui; Zheng, Zhi-Jia; Lin, Xian; Xu, Fei; Bi, Han; Laaksonen, Aatto

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Materialteknik

Artiklar i publikationen: Journal of Optoe ...

Av lärosätet: Stockholms universitet

Sök utanför SwePub

Sök vidare i:: Google; Google Book Search; Google Scholar

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

LIBRIS.kb.se