SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Hellström P.)
 

Sökning: WFRF:(Hellström P.) > On the role of Coul...

LIBRIS Formathandbok  (Information om MARC21)
FältnamnIndikatorerMetadata
00002854naa a2200433 4500
001oai:DiVA.org:kth-83796
003SwePub
008120213s2011 | |||||||||||000 ||eng|
024a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-837962 URI
024a https://doi.org/10.1063/1.36694902 DOI
040 a (SwePub)kth
041 a engb eng
042 9 SwePub
072 7a ref2 swepub-contenttype
072 7a art2 swepub-publicationtype
100a Thomas, S. M.4 aut
2451 0a On the role of Coulomb scattering in hafnium-silicate gated silicon n and p-channel metal-oxide-semiconductor-field-effect-transistors
264 1b AIP Publishing,c 2011
338 a print2 rdacarrier
500 a QC 20120214
520 a In this work, the impact of the local and remote Coulomb scattering mechanisms on electron and hole mobility are investigated. The effective mobilities in quasi-planar finFETs with TiN/Hf(0.4)Si(0.6)O/SiO(2) gate stacks have been measured at 300 K and 4 K. At 300 K, electron mobility is degraded below that of bulk MOSFETs in the literature, whereas hole mobility is comparable. The 4 K electron and hole mobilities have been modeled in terms of ionized impurity, local Coulomb, remote Coulomb and local roughness scattering. An existing model for remote Coulomb scattering from a polycrystalline silicon gate has been adapted to model remote Coulomb scattering from a high-kappa/SiO(2) gate stack. Subsequently, remote charge densities of 8 x 10(12) cm(-2) at the Hf(0.4)Si(0.6)O/SiO(2) interface were extracted and shown to be the dominant Coulomb scattering mechanism for both electron and hole mobilities at 4 K. Finally, a Monte Carlo simulation showed remote Coulomb scattering was responsible for the degraded 300 K electron mobility.
650 7a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Elektroteknik och elektronik0 (SwePub)2022 hsv//swe
650 7a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering0 (SwePub)2022 hsv//eng
700a Prest, M. J.4 aut
700a Whall, T. E.4 aut
700a Leadley, D. R.4 aut
700a Toniutti, P.4 aut
700a Conzatti, F.4 aut
700a Esseni, D.4 aut
700a Donetti, L.4 aut
700a Gamiz, F.4 aut
700a Lander, R. J. P.4 aut
700a Vellianitis, G.4 aut
700a Hellström, Per-Eriku KTH,Integrerade komponenter och kretsar4 aut0 (Swepub:kth)u1wc1lgb
700a Östling, Mikaelu KTH,Integrerade komponenter och kretsar4 aut0 (Swepub:kth)u1u0kle4
710a KTHb Integrerade komponenter och kretsar4 org
773t Journal of Applied Physicsd : AIP Publishingg 110:12, s. 124503-q 110:12<124503-x 0021-8979x 1089-7550
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-83796
8564 8u https://doi.org/10.1063/1.3669490

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy