SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Löfving Björn 1970)
 

Sökning: WFRF:(Löfving Björn 1970) > MEMS-based VCSEL be...

LIBRIS Formathandbok  (Information om MARC21)
FältnamnIndikatorerMetadata
00003909naa a2200529 4500
001oai:research.chalmers.se:48e63df5-f9f5-46fc-a55c-e879c3d8dc86
003SwePub
008171007s2008 | |||||||||||000 ||eng|
009oai:DiVA.org:uu-95122
0247 a https://doi.org/10.1016/j.sna.2006.12.0152 DOI
0247 a https://research.chalmers.se/publication/681212 URI
0247 a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-951222 URI
040 a (SwePub)cthd (SwePub)uu
041 a engb eng
042 9 SwePub
072 7a art2 swepub-publicationtype
072 7a ref2 swepub-contenttype
1001 a Hedsten, Karin,d 1964u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)hedsten
2451 0a MEMS-based VCSEL beam steering using replicated polymer diffractive lens
264 1b Elsevier BV,c 2008
520 a Abstract. This paper describes a fully integrated micro-optical system, in which dynamic angular control of the beam from a VCSEL (vertical cavity surface emitting laser) is realized by laterally moving a collimat¬ing diffractive lens in the light path. The lens is mounted on a translatable silicon stage, which consists of a frame with an opening for the light to traverse the lens and electro-statically driven comb actuators, by which the lateral movement is achieved. Devices implementing both 1D and 2D scanning have been fabricated and evaluated. Integration of the lens onto the translatable silicon stage is done using a newly developed fabrication process based on hot embossing of an amorphous fluorocarbon polymer. This fabrication process relies on a reversed-order protocol, where the structuring of the optical element precedes the silicon microstructuring. Assembly and packaging of the VCSEL-MOEMS system, using LTCC (low temperature cofired ceramic) technique, is also demonstrated. Optical evaluation of the system and beam steering function shows significant beam deflection for a relatively low driving voltage (~70 V).
650 7a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Elektroteknik och elektronikx Annan elektroteknik och elektronik0 (SwePub)202992 hsv//swe
650 7a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineeringx Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering0 (SwePub)202992 hsv//eng
653 a Beam steering
653 a Diffractive micro-optics
653 a VCSEL
653 a Replication
653 a MOEMS
653 a Microsystem
653 a TECHNOLOGY
7001 a Melin, Jonas,d 2005u Uppsala universitet,Mikrostrukturteknik4 aut
7001 a Bengtsson, Jörgen,d 1968u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)jorgenb
7001 a Modh, Peter,d 1968u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)modh
7001 a Karlén, David,d 1979u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)f98daka
7001 a Löfving, Björn,d 19704 aut0 (Swepub:cth)xlofbj
7001 a Nilsson, Richard4 aut
7001 a Rödjegård, Henrik,d 19744 aut
7001 a Persson, Katrin4 aut
7001 a Enoksson, Peter,d 1957u Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology4 aut0 (Swepub:cth)enok
7001 a Nikolajeff, Fredriku Uppsala universitet,Mikrostrukturteknik4 aut0 (Swepub:uu)fni28025
7001 a Andersson, G.4 aut
7102 a Chalmers tekniska högskolab Mikrostrukturteknik4 org
7730 t Sensors and Actuators, A: Physicald : Elsevier BVg 142:1, s. 336-345q 142:1<336-345x 0924-4247x 1873-3069
8564 u http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2006.12.015y FULLTEXT
8564 8u https://doi.org/10.1016/j.sna.2006.12.015
8564 8u https://research.chalmers.se/publication/68121
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-95122

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy