Sökning: L773:1520 8559 OR L773:0734 2101
> (2010-2024) >
Growth, intermixing...
-
Hägglund, Carl,1975-Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik,Stanford Univ, Dept Chem Engn, Stanford, CA 94305 USA,Thin film solar cells
(författare)
Growth, intermixing, and surface phase formation for zinc tin oxide nanolaminates produced by atomic layer deposition
- Artikel/kapitelEngelska2016
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
2016-02-08
-
American Vacuum Society,2016
-
electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:uu-281226
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-281226URI
-
https://doi.org/10.1116/1.4941411DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
A broad and expanding range of materials can be produced by atomic layer deposition at relatively low temperatures, including both oxides and metals. For many applications of interest, however, it is desirable to grow more tailored and complex materials such as semiconductors with a certain doping, mixed oxides, and metallic alloys. How well such mixed materials can be accomplished with ALD requires knowledge of the conditions under which the resulting films will be mixed, solid solutions, or laminated. The growth and lamination of zinc oxide and tin oxide is studied here by means of the extremely surface sensitive technique of low energy ion scattering, combined with bulk composition and thickness determination, and X-ray diffraction. At the low temperatures used for deposition (150 °C) there is little evidence for atomic scale mixing even with the smallest possible bilayer period, and instead a morphology with small ZnO inclusions in a SnOx matrix is deduced. Post-annealing of such laminates above 400 °C however produces a stable surface phase with a 30% increased density. From the surface stoichiometry, this is likely the inverted spinel of zinc stannate, Zn2SnO4. Annealing to 800 °C results in films containing crystalline Zn2SnO4, or multilayered films of crystalline ZnO, Zn2SnO4 and SnO2 phases, depending on the bilayer period.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Grehl, Thomas
(författare)
-
Tanskanen, Jukka T.
(författare)
-
Yee, Ye Sheng
(författare)
-
Mullings, Marja N.
(författare)
-
Mackus, Adriaan J. M.
(författare)
-
MacIsaac, Callisto
(författare)
-
Clemens, Bruce M.
(författare)
-
Brongersma, Hidde H.
(författare)
-
Bent, Stacey F.
(författare)
-
Uppsala universitetFasta tillståndets elektronik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films: American Vacuum Society34:20734-21011520-8559
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Hägglund, Carl, ...
-
Grehl, Thomas
-
Tanskanen, Jukka ...
-
Yee, Ye Sheng
-
Mullings, Marja ...
-
Mackus, Adriaan ...
-
visa fler...
-
MacIsaac, Callis ...
-
Clemens, Bruce M ...
-
Brongersma, Hidd ...
-
Bent, Stacey F.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
-
Uppsala universitet