SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

L773:1520 8559 OR L773:0734 2101
 

Sökning: L773:1520 8559 OR L773:0734 2101 > (2010-2024) > Growth and mechanic...

Growth and mechanical properties of 111-oriented V0.5Mo0.5Nx/Al2O3(0001) thin films

Kindlund, Hanna (författare)
Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
Lu, Jun (författare)
Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
Broitman, Esteban (författare)
Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska fakulteten
visa fler...
Petrov, Ivan (författare)
Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten,Univ Illinois, IL 61801 USA
Greene, Joseph E (författare)
Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten,Univ Illinois, IL 61801 USA
Birch, Jens (författare)
Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
Hultman, Lars (författare)
Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
visa färre...
 (creator_code:org_t)
A V S AMER INST PHYSICS, 2018
2018
Engelska.
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - : A V S AMER INST PHYSICS. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 36:5
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • Pseudobinary V0.5Mo0.5Nx(111) alloys with the Bl-NaCl crystal structure are grown on Al2O3(0001) substrates in an ultra-high-vacuum system by reactive magnetron sputter deposition in mixed Ar/N-2 atmospheres at temperatures T-s between 100 and 900 degrees C. Nitrogen-to-metal, N/(V + Mo), fractions x vary monotonically from 0.9 +/- 0.1 with T-s = 100 degrees C to 0.4 +/- 0.1 at T-s = 900 degrees C. Nitrogen loss at higher growth temperatures leads to a corresponding decrease in the relaxed lattice parameter a(o) from 4.21 +/- 0.01 angstrom at T-s = 300 degrees C to 4.125 +/- 0.005 angstrom with T-s = 900 degrees C. Scanning electron micrographs of cube-corner nanoindents extending into the substrate show that the films are relatively ductile, exhibiting material pile-up (plastic flow) around the indent edges. Nanoindentation hardnesses H and elastic moduli E, obtained using a calibrated Berkovich tip, of V0.5Mo0.5Nx(111) layers increase with increasing T-s(decreasing x) from 15 +/- 1 and 198 +/- 5 GPa at 100 degrees C to 23 +/- 2 and 381 +/- 11 GPa at 900 degrees C. These values are lower than the corresponding results obtained for the 001-oriented V0.5Mo0.5Nx films In addition, film wear resistance increases with increasing T-s, while the coefficient of friction, under 1000 mu N loads, is 0.09 +/- 0.01 for all layers. Published by the AVS.

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy