L773:0042 207X OR L773:1879 2715
Sökning: L773:0042 207X OR L773:1879 2715 > (1995-1999) > Electron-beam mixin...
Electron-beam mixing of W1 - xSix Si multilayers
-
- Vavra, I (författare)
- Slovak Academy of Sciences
-
- Wallenberg, LR (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Centrum för analys och syntes,Kemiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Centre for Analysis and Synthesis,Department of Chemistry,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
- Kudryashov, VA (författare)
- Institute of Microelectronics and High-Purity Materials, Russian Academy of Sciences
- (creator_code:org_t)
- 1995
- 1995
- Engelska 2 s.
- Ingår i: Vacuum. - 0042-207X. ; 46:8-10, s. 1063-1064
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The high energy electron beam was used for the local amorphisation of metallic multilayer. The observed effect is proposed for the application in nanometer-scale technology.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Vavra, I
- Wallenberg, LR
- Kudryashov, VA
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- och Den kondenserade ...
- Artiklar i publikationen
- Vacuum
- Av lärosätet
- Lunds universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
