Thin film characterization of zinc tin oxide deposited by thermal atomic layer deposition

Subject headings

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Materialteknik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Materials Engineering (hsv//eng)

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Kemiteknik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Chemical Engineering (hsv//eng)

Keyword

Engineering Science with specialization in Materials Science

Teknisk fysik med inriktning mot materialvetenskap

Publication and Content Type

ref (subject category)

art (subject category)