SwePub
Tyck till om SwePub Sök här!
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:2953d701-99c4-4974-9ac9-bb75d68ee714"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:2953d701-99c4-4974-9ac9-bb75d68ee714" > Self-aligned gate-l...

Self-aligned gate-last surface channel In0.53Ga0.47As MOSFET with selectively regrown source and drain contact layers

Egard, Mikael (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Ohlsson, Lars (författare)
Lund University,Lunds universitet,Institutionen för elektro- och informationsteknik,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Department of Electrical and Information Technology,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Borg, B. (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
visa fler...
Wernersson, Lars Erik (författare)
Lund University,Lunds universitet,Institutionen för elektro- och informationsteknik,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Department of Electrical and Information Technology,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Lind, Erik (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2011
2011
Engelska.
Ingår i: 69th Device Research Conference, DRC 2011 - Conference Digest. - 9781612842417
  • Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • III-V MOSFETs are currently being considered as a candidate for future high performance transistors [1]. In particular, In1-xGaxAs compounds are investigated for application in digital logic due to their advantageous electronic properties [2]. III-V technologies may be introduced beyond the 22 nm node, which will require a self aligned III/V device architecture as well as integration of high-¿ gate oxides.

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)

Publikations- och innehållstyp

kon (ämneskategori)
ref (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy