SwePub
Tyck till om SwePub Sök här!
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Ali M)
 

Sökning: WFRF:(Ali M) > Konferensbidrag > (2003-2004) > New large area PECV...

New large area PECVD-system for a-SiN:H deposition at 13.56 MHz

Kenanoglu, Ali (författare)
Borchert, Dietmar (författare)
Ballif, Christoph (författare)
visa fler...
Peters, Stefan (författare)
Zerres, Thomas (författare)
Rinio, Markus (författare)
Huljic, D. M. (författare)
visa färre...
2003
2003
Engelska.
  • Konferensbidrag (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Ämnesord
Stäng  

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)

Nyckelord

Physics
Fysik

Publikations- och innehållstyp

vet (ämneskategori)
kon (ämneskategori)

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy